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双波长飞秒激光抽运-探测法测量纳米薄膜及界面热物性

祝捷 , 唐大伟

工程热物理学报

建立了用来研究时间空间微尺度传热现象的双波长飞秒激光抽运-探测热反射系统,与常规的单波长飞秒激光抽运探测系统相比,双波长的光路设计方案可以大幅提高信噪比,并使共线的聚焦光路更易实现,从而提高测量的准确度。建立了与实验测量过程相应的多层膜热传导模型,并实现了多参数拟合,可用于对体材料或薄膜材料的热导率以及界面热导的准确测量。本文采用这种先进的测量方法测量了SiO_2纳米薄膜的热导率及其与Si之间的界面热导。

关键词: 双波长飞秒激光抽运-探测系统 , 纳米薄膜 , 热导率 , 界面热导

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